本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種減壓干燥設(shè)備，該減壓干燥設(shè)備包括密封腔室、氣壓調(diào)節(jié)裝置以及位于密封腔室內(nèi)的承載平臺(tái)；承載平臺(tái)用以承載表面涂布有光刻膠的基板；氣壓調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述密封腔室的側(cè)邊，氣壓調(diào)節(jié)裝置包括向密封腔室通入保護(hù)氣的主氣管和支氣管，支氣管連接主氣管，主氣管在密封腔室的側(cè)邊表面上下對(duì)稱(chēng)設(shè)置。本發(fā)明實(shí)施例中采用上下對(duì)稱(chēng)主氣管設(shè)計(jì)，縮短支氣管供氣距離，減少氣流壓降，使得上下氣壓穩(wěn)定，產(chǎn)品特性穩(wěn)定。

1.一種減壓干燥設(shè)備，用于對(duì)涂布于基板表面的光刻膠進(jìn)行減壓干燥處理，其特征在于，所述減壓干燥設(shè)備包括密封腔室、氣壓調(diào)節(jié)裝置以及位于所述密封腔室內(nèi)的承載平臺(tái)；所述承載平臺(tái)用以承載表面涂布有光刻膠的基板；所述氣壓調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述密封腔室的側(cè)邊，所述氣壓調(diào)節(jié)裝置包括向所述密封腔室通入保護(hù)氣的主氣管和支氣管，所述支氣管連接所述主氣管，所述主氣管在所述密封腔室的側(cè)邊表面上下對(duì)稱(chēng)設(shè)置；所述主氣管包括上側(cè)主氣管和下側(cè)主氣管，所述上側(cè)主氣管和所述下側(cè)主氣管在所述密封腔室的側(cè)邊表面以中線(xiàn)為分割線(xiàn)呈上下對(duì)稱(chēng)設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述密封腔室內(nèi)可容納2n片基板，所述上側(cè)主氣管為所述密封腔室內(nèi)上側(cè)n片基板供氣，所述下側(cè)主氣管為所述密封腔室內(nèi)下側(cè)n片基板供氣，其中，n為正整數(shù)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述支氣管采用雙套管設(shè)計(jì)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述支氣管包括外管和內(nèi)管，所述內(nèi)管內(nèi)形成第一空腔，所述外管和所述內(nèi)管之間形成第二空腔。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述內(nèi)管上設(shè)置有若干內(nèi)管出氣口，當(dāng)進(jìn)氣通過(guò)所述主氣管進(jìn)入所述支氣管時(shí)，填充所述第一空腔，再通過(guò)所述內(nèi)管上若干內(nèi)管出氣口填充所述第二空腔。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述外管上設(shè)置有若干外管出氣口，以向所述密封腔室通入保護(hù)氣，使得所述密封腔室內(nèi)基板表面各區(qū)域的光刻膠干燥程度均勻。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，在所述支氣管上設(shè)置有進(jìn)氣管，所述支氣管通過(guò)所述進(jìn)氣管向所述密封腔室通入保護(hù)氣，所述進(jìn)氣管上設(shè)置用于調(diào)節(jié)氣流大小的蝴蝶閥。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述減壓干燥設(shè)備還包括：溫度調(diào)節(jié)模塊，設(shè)置于所述承載平臺(tái)上；所述溫度調(diào)節(jié)模塊至少包括一加熱子模塊和一冷卻子模塊；其中，所述溫度調(diào)節(jié)模塊用以對(duì)密封腔室內(nèi)基板進(jìn)行局部溫度調(diào)控，使得密封腔室內(nèi)基板表面各區(qū)域的光刻膠干燥程度均勻。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)模塊嵌設(shè)于所述承載平臺(tái)內(nèi)，并且，所述溫度調(diào)節(jié)模塊的加熱子模塊靠近所述承載平臺(tái)的上表面，所述冷卻子模塊貼合于所述加熱子模塊的底部。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的減壓干燥設(shè)備，其特征在于，所述加熱子模塊為紅外熱輻射源，所述冷卻子模塊為循環(huán)水冷器。