一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)，所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)包括電源、氮氣源、氮氣純度檢測儀、壓力傳感器、磷化氫發(fā)生器、磷化氫濃度檢測儀、連接管路及控制閥、報警器和保護電路；所述氮氣源出氣口與磷化氫發(fā)生器進氣口連接，可向磷化氫發(fā)生器內(nèi)注入純氮氣，用于稀釋磷化氫發(fā)生器產(chǎn)生的磷化氫氣體的濃度。

1.一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)，其特征在于：所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)包括電源、磷化氫發(fā)生器、氮氣源包括制氮機和高壓氮氣瓶或罐、連接管路、控制閥、壓力傳感器及報警器、氮氣純度檢測儀及報警器、磷化氫氣體濃度檢測儀及報警器和保護電路；所述電源與氮氣源、磷化氫發(fā)生器連接，用于提供電能；所述氮氣源出氣口與磷化氫發(fā)生器進氣口連接，可向磷化氫發(fā)生器內(nèi)注入純氮氣，用于稀釋磷化氫發(fā)生器產(chǎn)生的磷化氫氣體的濃度；所述壓力傳感器及報警器與制氮機的氮氣儲氣罐連接，用于檢測氮氣儲氣罐內(nèi)的壓力值；所述氮氣純度檢測儀及報警器與氮氣源的出口管路連接，用于檢測氮氣的濃度值；所述磷化氫濃度檢測儀及報警器與磷化氫發(fā)生器的出口管路連接，用于檢測磷化氫氣體的濃度值；所述連接管路及控制閥與氮氣源、磷化氫發(fā)生器、氮氣純度檢測儀及報警器、磷化氫濃度檢測儀及報警器和環(huán)流熏蒸回路連接，構(gòu)造氮氣、磷化氫氣體和環(huán)流熏蒸回路之間的氣體通道；所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)運行過程中當制氮機的儲氣罐壓力小于0.05Mpa時壓力傳感器的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發(fā)生器停止運行，待制氮機的儲氣罐壓力大于0.05Mpa時，磷化氫發(fā)生器可以重新啟動；當?shù)獨庠吹臍怏w純度值低于98.5％時，氮氣純度檢測儀的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發(fā)生器停止運行，待氮氣的純度值高于98.5％時，磷化氫發(fā)生器可以重新啟動；當磷化氫發(fā)生器產(chǎn)生的磷化氫氣體經(jīng)純氮氣稀釋后濃度值高于1.79％或26g/m³標準值時，磷化氫濃度檢測儀的報警器將會報警，同時相關的保護電路使磷化氫發(fā)生器停止運行，待磷化氫發(fā)生器產(chǎn)生的磷化氫氣體經(jīng)純氮氣稀釋后濃度值低于1.79％或26g/m³標準值時，磷化氫發(fā)生器可以重新啟動；經(jīng)純氮氣稀釋后濃度值低于1.79％或26g/m³標準值的磷化氫氣體經(jīng)管路輸送至環(huán)流熏蒸回路。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統(tǒng)，其特征在于，所述氮氣源可以是小型分子篩空分法制氮機。