1.一種過濾器,包括:
過濾池;
過濾膜,包括過濾材料;以及
密封件,通過交聯反應密封所述過濾材料,其中,所述密封件將所述過濾膜的表面張力
改變為介于30dyne/cm和70dyne/cm之間,所述密封件包括光刻膠聚合物樹脂,其中,所述光
刻膠聚合物樹脂包括交聯基團。
2.根據權利要求1所述的過濾器,其中,所述交聯基團包括氟原子。
3.根據權利要求1所述的過濾器,其中,所述光刻膠聚合物樹脂進一步包括內酯基團。
4.一種密封過濾器的方法,所述方法包括:
提供具有過濾材料的過濾膜;
將涂覆材料引入至所述過濾材料,所述涂覆材料包括具有交聯基團的光刻膠聚合物樹
脂;以及
引發所述涂覆材料內的交聯反應以密封所述過濾材料。
5.根據權利要求4所述的方法,其中,在引發所述交聯反應之前,所述涂覆材料浮動至
所述過濾材料的表面。
6.根據權利要求5所述的方法,其中,至少部分通過物理工藝完成引發所述交聯反應。
7.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用電子束曝光實施所述物理工藝。
8.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用等離子體曝光實施所述物理工藝。
9.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用輻射曝光實施所述物理工藝。
10.根據權利要求4所述的方法,其中,至少部分通過化學工藝完成引發所述交聯反應。
11.一種使用過濾器的方法,所述方法包括:
在使工藝流體穿過過濾膜之前密封所述過濾膜,其中,密封所述過濾膜包括:
使密封材料與所述過濾膜接觸,所述密封材料是具有交聯基團的光刻膠聚合物樹脂;
和
引發交聯反應以將所述過濾膜密封在所述密封材料內;以及
通過所述過濾膜過濾所述工藝流體,其中,所述工藝流體通過所述密封材料與所述過
濾膜間隔開。
12.根據權利要求11所述的方法,其中,至少部分通過化學工藝實施引發所述交聯反
應。
13.根據權利要求11所述的方法,其中,至少部分通過物理工藝實施引發所述交聯反
應。
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