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具有密封處理的過濾器

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-07-25
  • 技術成熟度:通過小試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201410736750.5 
  • 技術(專利)名稱 具有密封處理的過濾器 
  • 項目單位 臺灣積體電路制造股份有限公司
  • 發明人 羅冠昕,張慶裕 
  • 行業類別 其他領域
  • 技術成熟度 通過小試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 鄭伊建
  • 發布時間 2021-07-25  
  • 01

    項目簡介

    根據實施例,在使用過濾膜過濾工藝流體之前,使用密封材料密封過濾膜。密封材料是氟基聚合物或具有交聯基團的聚合物。一旦已經將密封材料放置為與過濾膜接觸,可以使用物理或化學工藝引發交聯反應以交聯密封材料并將過濾膜密封到密封材料內,從而使過濾膜與工藝流體間隔開,以減小或消除過濾膜浸出至工藝流體內。本發明涉及具有密封處理的過濾器。
    展開
  • 02

    說明書

    1.一種過濾器,包括:
    過濾池;
    過濾膜,包括過濾材料;以及
    密封件,通過交聯反應密封所述過濾材料,其中,所述密封件將所述過濾膜的表面張力
    改變為介于30dyne/cm和70dyne/cm之間,所述密封件包括光刻膠聚合物樹脂,其中,所述光
    刻膠聚合物樹脂包括交聯基團。
    2.根據權利要求1所述的過濾器,其中,所述交聯基團包括氟原子。
    3.根據權利要求1所述的過濾器,其中,所述光刻膠聚合物樹脂進一步包括內酯基團。
    4.一種密封過濾器的方法,所述方法包括:
    提供具有過濾材料的過濾膜;
    將涂覆材料引入至所述過濾材料,所述涂覆材料包括具有交聯基團的光刻膠聚合物樹
    脂;以及
    引發所述涂覆材料內的交聯反應以密封所述過濾材料。
    5.根據權利要求4所述的方法,其中,在引發所述交聯反應之前,所述涂覆材料浮動至
    所述過濾材料的表面。
    6.根據權利要求5所述的方法,其中,至少部分通過物理工藝完成引發所述交聯反應。
    7.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用電子束曝光實施所述物理工藝。
    8.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用等離子體曝光實施所述物理工藝。
    9.根據權利要求6所述的方法,其中,至少部分使用輻射曝光實施所述物理工藝。
    10.根據權利要求4所述的方法,其中,至少部分通過化學工藝完成引發所述交聯反應。
    11.一種使用過濾器的方法,所述方法包括:
    在使工藝流體穿過過濾膜之前密封所述過濾膜,其中,密封所述過濾膜包括:
    使密封材料與所述過濾膜接觸,所述密封材料是具有交聯基團的光刻膠聚合物樹脂;

    引發交聯反應以將所述過濾膜密封在所述密封材料內;以及
    通過所述過濾膜過濾所述工藝流體,其中,所述工藝流體通過所述密封材料與所述過
    濾膜間隔開。
    12.根據權利要求11所述的方法,其中,至少部分通過化學工藝實施引發所述交聯反
    應。
    13.根據權利要求11所述的方法,其中,至少部分通過物理工藝實施引發所述交聯反
    應。
    展開

專利技術附圖

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