本發明提供一種氯硅烷的精煉裝置及氯硅烷制造方法，可有效地從在氯化反應爐中生成的含有氯硅烷的氣體中除去氯化鋁。在容器(1)中填充氯化鈉并由加熱機構(17)進行加熱，使含有由金屬硅和氯化氫反應生成的氯硅烷的氣體通過該氯化鈉的層(16)中，從而生成該氣體中含有的氯化鋁與氯化鈉的復鹽，從氣體回收管(26)將分離了該復鹽后的氣體回收。

1.一種氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在填充了氯化鈉的容器上設有：對該氯化鈉的層進行加熱的加熱
機構、供給含有由金屬硅和氯化氫反應生成的氯硅烷的氣體的氣體供
給管、將通過了上述氯化鈉的層后的氣體排出的氣體回收管，
形成有覆蓋上述容器的至少底部外表面的外套，并且，對該外套
供給熱介質，在容器底部，以貫通上述外套的方式連接有將所生成的
復鹽排出的復鹽排出管，在復鹽排出管的貫通部形成有包圍上述復鹽
排出管的筒狀壁，上述外套形成在該筒狀壁的外側，
設置有環狀的端板，以堵塞上述筒狀壁與上述復鹽排出管之間的
空間，由上述筒狀壁、上述復鹽排出管和上述端板在上述容器的底部
的外側形成包圍上述復鹽排出管的環狀室。
2.根據權利要求1所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，在上
述容器內設有上下分隔該容器的網板，在該網板的下方位置連接有上
述氣體供給管，在網板的上方位置連接有上述氣體回收管，上述氯化
鈉填充于上述網板上。
3.根據權利要求1或2所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在上述氣體供給管的上游位置設有除去含有上述氯硅烷的氣體中的粉
塵的過濾器，該過濾器具有使用聚四氟乙烯的織物制成的過濾器、或
將聚四氟乙烯做成連續多孔質體而成的膜式過濾器。
4.根據權利要求1或2所述的氯硅烷的精煉裝置，其特征在于，
在上述環狀室設置有排出管。
5.一種氯硅烷制造方法，制造使用權利要求1所述的氯硅烷的精
煉裝置精煉的氯硅烷，其特征在于，從上述氣體供給管將含有上述氯
硅烷的氣體供給到上述容器內，并使該氣體通過填充于該容器內的上
述氯化鈉的層，從上述氣體回收管進行回收。