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探針卡盒和探針卡輸送方法

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-07-28
  • 技術成熟度:已有樣品
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201710076111.4 
  • 技術(專利)名稱 探針卡盒和探針卡輸送方法 
  • 項目單位 日本電子材料株式會社
  • 發明人 森親臣,雨宮貴 
  • 行業類別 其他領域
  • 技術成熟度 已有樣品
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 許笑蓉
  • 發布時間 2021-07-28  
  • 01

    項目簡介

    本發明提供一種探針卡盒,其能夠容易地進行探針卡的操作處理且還能夠應對小徑化(小型化)了的探針卡。一種用于收納探針卡的探針卡盒,其特征在于,包括:第1盒部件,其能夠將上述探針卡載置在規定位置;第2盒部件,其能夠與上述第1盒部件的上側嵌合,具有用于固定上述探針卡的探針卡固定機構;和盒固定機構,其用于固定上述第1盒部件和上述第2盒部件,能夠在將上述探針卡收納在上述探針卡盒的內部、且將上述第1盒部件和上述第2盒部件固定了的狀態下進行輸送,并且,能夠在將上述探針卡固定在上述第2盒部件的狀態下,將上述探針卡僅與上述第2盒部件一起輸送。
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  • 02

    說明書

    1.一種探針卡輸送件,其特征在于:所述探針卡可安裝于晶片檢查裝置,具有絕緣性基板,該絕緣性基板具有探針,為了進行形成于半導體晶片上的半導體器件的電檢查而使該探針與半導體晶片上的電極極板接觸,所述探針卡輸送件包括:頂板部,其具有與探針卡的一個面相對的第1面和與所述第1面相反側的第2面,其中,所述探針卡的一個面是與所述探針卡的探針設置面相反側的面;和探針卡固定機構,其配置在所述頂板部,通過從所述頂板部的第2面側進行的操作,能夠將所述探針卡固定在所述頂板部,并且能夠從所述頂板部解除所述探針卡,所述探針卡在其被固定在所述頂板部的狀態下被輸送,所述探針卡被從所述頂板部解除而安裝于所述晶片檢查裝置。2.如權利要求1所述的探針卡輸送件,其特征在于:所述頂板部從所述第1面側的周緣部延伸,具有包圍所述探針卡的側壁部。3.如權利要求1所述的探針卡輸送件,其特征在于:所述探針卡固定機構是貫通所述頂板部的翼形螺釘,所述翼形螺釘具有在所述第1面側與所述探針卡螺合的螺紋部和配置在所述第2面側的翼部。4.如權利要求2所述的探針卡輸送件,其特征在于:在所述頂板部的所述側壁部具有用于輸送的把手。5.如權利要求1至4中任一項所述的探針卡輸送件,其特征在于:所述探針卡輸送件至少一部分為透明,能夠隔著所述探針卡輸送件目視所述探針卡。
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專利技術附圖

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