原子力顯微鏡的Z掃描器和探針裝置及探針裝置安裝器，裝置有Z掃描器和連接在Z掃描器下面的探針裝置，Z掃描器有由下至上依次設置的環形鐵片、環形壓電陶瓷片和環形磁鐵，環形鐵片、環形壓電陶瓷片和環形磁鐵同軸設置，內周共同構成通光孔；探針裝置有用于與環形鐵片通過磁力相連的探針夾持結構，嵌入在探針夾持結構上的懸臂梁探針和通過螺絲將懸臂梁探針固定在探針夾持結構上的彈簧壓片。探針裝置的探針裝置安裝器有安裝器主體的一端形成有矩形開口，矩形開口的兩側和底部分布的形成有用于通過沉頭螺釘連接探針裝置的沉頭螺紋孔，安裝器主體遠離矩形開口部分，形成有用于連接外部裝置的沉頭通孔。本發明能夠適用于各種功效和多種掃描方式的原子力顯微鏡。

1.一種用于原子力顯微鏡的裝置，包括有Z掃描器（1）、連接在所述Z掃描器（1）下面的探針裝置（2）、探針裝置安裝器（3），其特征在于，所述的Z掃描器（1）包括：由下至上依次設置的環形鐵片（11）、環形壓電陶瓷片（12）和環形磁鐵（13），所述環形鐵片（11）、環形壓電陶瓷片（12）和環形磁鐵（13）同軸設置，內周共同構成通光孔（14）；所述探針裝置（2）包括：用于與所述的環形鐵片（11）通過磁力相連的探針夾持結構（21），嵌入在所述探針夾持結構（21）上的懸臂梁探針（22）和通過螺絲（24）將所述的懸臂梁探針（22）固定在所述探針夾持結構（21）上的彈簧壓片（23），所述的探針夾持結構（21）包括夾持主體（211），所述夾持主體（211）的下端面一體形成有平部分（212）和斜面部分（213），在所述平部分（212）上且鄰近斜面部分（213）形成有與所述的通光孔（14）相對應的上下貫通的通光窗口（214）和位于通光窗口（214）周邊的用于連接外部的探針裝置安裝器（3）的安裝孔（215），在斜面部分（213）上臨近所述通光窗口（214）的一側形成有用于嵌入所述懸臂梁探針（22）的凹槽（216），在斜面部分（213）上對應凹槽（216）一側形成有用于通過螺絲（24）固定彈簧壓片（23）的螺孔（217），所述彈簧壓片（23）的一端壓在所述安裝懸臂梁探針（22）上；所述夾持主體（211）的上端面嵌入有三個用于與所述Z掃描器（1）上的環形鐵片（11）通過磁力相連的磁塊（218）；所述的探針裝置安裝器(3)， 包括有安裝器主體（31），所述安裝器主體（31）的一端形成有矩形開口（32），所述矩形開口（32）的兩側和底部分布的形成有4個用于通過沉頭螺釘（4）連接探針裝置（2）的沉頭螺紋孔（33），所述安裝器主體（31）的遠離矩形開口（32）的部分，形成有用于連接外部裝置的沉頭通孔（34）。2.根據權利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的環形磁鐵（13）的內徑大于環形壓電陶瓷片（12）的內徑。3.根據權利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的環形鐵片（11）、環形壓電陶瓷片（12）和環形磁鐵（13）之間是通過環氧樹脂膠固定連接，其中，所述的環形鐵片（11）下端面連接探針夾持器（2），所述環形磁鐵（13）的上端面安裝在原子力顯微鏡的Y掃描器上。4.根據權利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的彈簧壓片（23）沿長度方向形成有用于調節彈簧壓片（23）壓在所述懸臂梁探針（22）上的量的調節槽（231），所述螺絲（24）貫穿所述調節槽（231）與所述的螺孔（217）螺紋連接。5.根據權利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述的斜面部分（213）是與水平面夾角為10-12°的傾斜面。6.根據權利要求1所述的用于原子力顯微鏡的裝置，其特征在于，所述用于嵌入懸臂梁探針（22）的凹槽（216）深度為0.2～0.3mm。