一種自動掃描發射探針裝置，屬于等離子體科學與技術領域。該裝置由計算機、數據采集卡、隔離運放、探針加熱電路、探針偏置電路和探針組成；數據采集卡的模擬輸出通道a通過隔離運放a連接探針加熱電路，探針加熱電路輸出端連接探針兩端；數據采集卡的模擬輸出通道b連接探針偏置電路，探針偏置電路輸出端分別連接探針加熱電路和等離子體參考地；探針加熱電流信號由數據采集卡的模擬輸入通道a采集、探針偏置電壓信號和探針發射/收集電流信號分別由模擬輸入通道b和c采集。本發明能自動掃描電子加熱電流和探針偏置電壓，測量過程耗時短、效率高；探針工作溫度低、對等離子體擾動小、測量空間分辨精度高、測量準確，且探針不易燒斷、壽命長。

1.一種自動掃描發射探針裝置，其特征在于：由計算機(1)、數據采集卡(2)、隔離運放a
(3)、隔離運放b(4)、探針加熱電路(5)、探針掃描偏置電路(6)和探針(7)組成；探針(7)置于
等離子體(8)中；數據采集卡(2)的模擬輸出通道a(9)通過隔離運放a(3)連接探針加熱電路
(5)，探針加熱電路(5)兩輸出端連接探針(7)兩端，向探針(7)提供加熱電流；探針(7)加熱
電流大小由模擬輸出通道a(9)的信號控制；數據采集卡(2)的模擬輸出通道b(10)連接探針
掃描偏置電路(6)，探針掃描偏置電路(6)兩輸出端分別連接探針加熱電路(5)和等離子體
參考地(14)，探針掃描偏置電路(6)產生掃描偏置電壓加在探針(7)和等離子體參考地(14)
之間，掃描偏置電壓大小由模擬輸出通道b(10)的信號控制；探針加熱電流信號通過隔離運
放b(4)由數據采集卡(2)的模擬輸入通道a(11)采集、探針偏置電壓信號和探針發射/收集
電流信號分別由數據采集卡(2)的模擬輸入通道b(12)和模擬輸入通道c(13)采集；所述探
針(7)為耐高溫金屬絲，中部小于1毫米的部分涂有電子粉，其他部分裸露。
2.根據權利要求1所述的一種自動掃描發射探針裝置，其特征在于：所述數據采集卡
(2)有至少兩個模擬輸出通道和至少三個模擬輸入通道。
3.根據權利要求1所述的一種自動掃描發射探針裝置，其特征在于：所述探針(7)為直
徑10微米至50微米、長3毫米至10毫米的耐高溫金屬絲。
4.根據權利要求3所述的一種自動掃描發射探針裝置，其特征在于：所述耐高溫金屬絲
為鎢絲或鉬絲或鉭絲。