本發(fā)明提供一種流量控制閥以及流量控制閥用的滑閥位置檢測(cè)裝置，其具有：磁響應(yīng)性的目標(biāo)探針(31)，其安裝在流量控制閥的滑閥(12)的一端；以及傳感器殼體(32)，其安裝在套筒(11)的一端。傳感器殼體(32)具有形成有容許目標(biāo)探針(31)的進(jìn)入的內(nèi)部空間的筒部(33)，在筒部(33)的周圍設(shè)置有沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置的第1及第2線圈(C1、C2)。探針(31)形成使相對(duì)于線圈的磁響應(yīng)性與該探針的直線位置對(duì)應(yīng)而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造。配置為第1線圈(C1)與探針(31)進(jìn)行感應(yīng)，第2線圈(C2)不感應(yīng)。第1線圈(C1)的阻抗與探針(31)的直線位置對(duì)應(yīng)而變化，通過對(duì)第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)探針(31)的直線位置。

1.一種流量控制閥，其在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收
容具有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，進(jìn)行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應(yīng)
性的材質(zhì)構(gòu)成；
開口，其設(shè)置在所述套筒的一端，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測(cè)所述目
標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
具有體積逐漸減小的錐形形狀的前端部分，使相對(duì)于該第1線圈的磁
響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)而向一個(gè)方向逐漸變化，并且所
述第2線圈構(gòu)成為，至少在所述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不
與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸
出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位
置，
并且，所述目標(biāo)探針由多片硅鋼板的層疊體構(gòu)成，包含具有面
積逐漸減小的錐形形狀的前端部分的多個(gè)所述硅鋼板，且靠近層的中
央的所述硅鋼板的所述錐形形狀部分的長(zhǎng)度比靠近外側(cè)的所述硅鋼
板的所述錐形形狀部分的長(zhǎng)度長(zhǎng)。
2.一種流量控制閥，其在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收
容具有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，進(jìn)行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應(yīng)
性的材質(zhì)構(gòu)成；
開口，其設(shè)置在所述套筒的一端，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測(cè)所述目
標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
形成使相對(duì)于該第1線圈的磁響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)
而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造，并且所述第2線圈構(gòu)成為，至少在所
述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)
行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)
所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位置，
相對(duì)于所述目標(biāo)探針，所述第1線圈位于近端側(cè)，第2線圈位
于遠(yuǎn)端側(cè)，
所述目標(biāo)探針形成下述形狀，即，具有使其前端進(jìn)入遠(yuǎn)端側(cè)的
所述第2線圈的感應(yīng)區(qū)域的長(zhǎng)度，在其前端進(jìn)入遠(yuǎn)端側(cè)的所述第2
線圈的感應(yīng)區(qū)域時(shí)，該目標(biāo)探針的靠近根部的規(guī)定部分進(jìn)入所述第1
線圈的感應(yīng)區(qū)域，利用靠近該根部的規(guī)定部分增強(qiáng)第1線圈的感應(yīng)程
度，以抵消該第2線圈的感應(yīng)。
3.一種流量控制閥，其在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收
容具有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，進(jìn)行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應(yīng)
性的材質(zhì)構(gòu)成；
開口，其設(shè)置在所述套筒的一端，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測(cè)所述目
標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
對(duì)將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成而得到的交流檢
測(cè)信號(hào)進(jìn)行整流，并生成直流檢測(cè)電壓信號(hào)的電路；以及
增益設(shè)定電路，其將所述直流檢測(cè)電壓信號(hào)放大，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
形成使相對(duì)于該第1線圈的磁響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)
而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造，并且所述第2線圈構(gòu)成為，至少在所
述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)
行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)
所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，在增益設(shè)定電路中，作為增益設(shè)定用的電阻元件，使用
具有規(guī)定溫度特性的電阻元件，設(shè)定所述增益設(shè)定用的電阻元件的所
述規(guī)定溫度特性，以抵消由渦流損耗以及電路內(nèi)要素的溫度特性引起
的阻抗變化。
4.一種流量控制閥，其在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收
容具有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，進(jìn)行
流量控制，
其特征在于，具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述滑閥的一端，由磁響應(yīng)
性的材質(zhì)構(gòu)成；
開口，其設(shè)置在所述套筒的一端，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述套筒的所述一端，用于檢測(cè)所述目
標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，該筒部形成有
容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所述套筒的所述
一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
形成使相對(duì)于該第1線圈的磁響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)
而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造，并且所述第2線圈構(gòu)成為，至少在所
述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)
行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)
所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位置，
對(duì)于所述滑閥的最大位移量不同的多種流量控制閥，通過使設(shè)
置在所述套筒的一端的開口的尺寸、和所述傳感器殼體相對(duì)于所述套
筒的一端的安裝構(gòu)造通用化，并且使所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部所
形成的所述內(nèi)部空間的長(zhǎng)度成為可以與所述多種流量控制閥中最長(zhǎng)
的所述滑閥的最大位移量對(duì)應(yīng)的尺寸，由此，雖然針對(duì)所述多種流量
控制閥使用不同尺寸的所述目標(biāo)探針，但包含所述第1線圈以及第2
線圈在內(nèi)的相同的所述傳感器殼體，可以共通地應(yīng)用于所述多種流量
控制閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流量控制閥，其特征
在于，
在所述傳感器殼體內(nèi)，在所述筒部的周圍空間中收容用于對(duì)所
述第1及第2線圈進(jìn)行交流勵(lì)磁的電路、以及用于生成并輸出位置檢
測(cè)數(shù)據(jù)的電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的流量控制閥，其特征在于，
相對(duì)于所述目標(biāo)探針，所述第1線圈位于近端側(cè)，第2線圈位
于遠(yuǎn)端側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的流量控制閥，其特征在于，
所述目標(biāo)探針具有使其前端不會(huì)進(jìn)入遠(yuǎn)端側(cè)的所述第2線圈的
感應(yīng)區(qū)域中的長(zhǎng)度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的流量控制閥，其特征在于，
在所述第2線圈的內(nèi)側(cè)，環(huán)狀地設(shè)置磁響應(yīng)性屏蔽部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的流量控制閥，其特征在
于，
所述目標(biāo)探針具有多片硅鋼板的層疊體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的流量控制閥，其特征在于，
所述多片硅鋼板的層疊體由樹脂進(jìn)行模塑。
11.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測(cè)裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收容具
有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，從而進(jìn)行
流量控制，
所述滑閥位置檢測(cè)裝置具有：大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝
在所述流量控制閥的所述滑閥的一端，由磁響應(yīng)性的材質(zhì)構(gòu)成，其中，
在所述流量控制閥的所述套筒的一端設(shè)置開口，以容許所述目標(biāo)探針
通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測(cè)所述目標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
具有體積逐漸減小的錐形形狀的前端部分，使相對(duì)于該第1線圈的磁
響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)而向一個(gè)方向逐漸變化，并且所
述第2線圈構(gòu)成為，至少在所述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不
與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸
出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位
置，
并且，所述目標(biāo)探針由多片硅鋼板的層疊體構(gòu)成，包含具有面
積逐漸減小的錐形形狀的前端部分的多個(gè)所述硅鋼板，且靠近層的中
央的所述硅鋼板的所述錐形形狀部分的長(zhǎng)度比靠近外側(cè)的所述硅鋼
板的所述錐形形狀部分的長(zhǎng)度長(zhǎng)。
12.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測(cè)裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收容具
有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，從而進(jìn)行
流量控制，
所述滑閥位置檢測(cè)裝置具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述流量控制閥的所述滑閥
的一端，由磁響應(yīng)性的材質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述流量控制閥的所述套
筒的一端設(shè)置開口，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測(cè)所述目標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置；
對(duì)將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成而得到的交流檢
測(cè)信號(hào)進(jìn)行整流，并生成直流檢測(cè)電壓信號(hào)的電路；以及
增益設(shè)定電路，其將所述直流檢測(cè)電壓信號(hào)放大，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
形成使相對(duì)于該第1線圈的磁響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)
而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造，并且所述第2線圈構(gòu)成為，至少在所
述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)
行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)
所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，在增益設(shè)定電路中，作為增益設(shè)定用的電阻元件，使用
具有規(guī)定溫度特性的電阻元件，設(shè)定所述增益設(shè)定用的電阻元件的所
述規(guī)定溫度特性，以抵消由渦流損耗以及電路內(nèi)要素的溫度特性引起
的阻抗變化。
13.一種用于流量控制閥的滑閥位置檢測(cè)裝置，其特征在于，
所述流量控制閥，在具有多個(gè)端口的套筒內(nèi)，可滑動(dòng)地收容具
有多個(gè)閥體的滑閥，通過利用致動(dòng)器使該滑閥直線地移動(dòng)，從而進(jìn)行
流量控制，
所述滑閥位置檢測(cè)裝置具有：
大致直線狀的目標(biāo)探針，其安裝在所述流量控制閥的所述滑閥
的一端，由磁響應(yīng)性的材質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述流量控制閥的所述套
筒的一端設(shè)置開口，以容許所述目標(biāo)探針通過；
傳感器殼體，其安裝在所述流量控制閥的所述套筒的所述一端，
用于檢測(cè)所述目標(biāo)探針的直線位置，其中，所述傳感器殼體具有筒部，
該筒部形成有容許所述目標(biāo)探針進(jìn)入的內(nèi)部空間，所述內(nèi)部空間與所
述套筒的所述一端的所述開口連結(jié)，所述筒部由非磁性體構(gòu)成；以及
第1線圈以及第2線圈，其在所述傳感器殼體內(nèi)的所述筒部的
周圍，沿軸向隔著規(guī)定間隔而配置，
所述第1線圈配置為與所述目標(biāo)探針進(jìn)行感應(yīng)，所述目標(biāo)探針
形成使相對(duì)于該第1線圈的磁響應(yīng)性與該目標(biāo)探針的直線位置對(duì)應(yīng)
而向一個(gè)方向逐漸變化的構(gòu)造，并且所述第2線圈構(gòu)成為，至少在所
述目標(biāo)探針的規(guī)定的直線位移范圍內(nèi)不與該目標(biāo)探針的直線位移進(jìn)
行感應(yīng)，通過將所述第1及第2線圈的輸出進(jìn)行差動(dòng)合成，從而檢測(cè)
所述目標(biāo)探針的直線位置即所述滑閥的位置，
并且，對(duì)于所述滑閥的最大位移量不同的多種流量控制閥，通
過使設(shè)置在所述套筒的一端的開口的尺寸、和所述傳感器殼體相對(duì)于
所述套筒的一端的安裝構(gòu)造通用化，并且使所述傳感器殼體內(nèi)的所述
筒部所形成的所述內(nèi)部空間的長(zhǎng)度成為可以與所述多種滑閥型流量
控制閥中最長(zhǎng)的所述滑閥的最大位移量對(duì)應(yīng)的尺寸，由此，雖然針對(duì)
所述多種流量控制閥使用不同尺寸的所述目標(biāo)探針，但包含所述第1
線圈以及第2線圈在內(nèi)的相同的所述傳感器殼體，可以共通地應(yīng)用于
所述多種滑閥型流量控制閥。
14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任一項(xiàng)所述的用于流量控制閥的滑
閥位置檢測(cè)裝置，其特征在于，
在所述第2線圈的內(nèi)側(cè)，設(shè)置環(huán)狀的磁響應(yīng)性屏蔽部件。