本發(fā)明公開(kāi)了一種表面電阻測(cè)試探頭及其測(cè)試裝置及表面電阻測(cè)試方法，通過(guò)液態(tài)的水銀作為測(cè)試探頭取代四探針?lè)y(cè)量表面電阻的機(jī)械探針，能有效的克服機(jī)械探頭損傷涂層、薄膜和明顯改變待測(cè)材料受力狀態(tài)的缺陷，獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果，并同時(shí)設(shè)計(jì)發(fā)明了對(duì)應(yīng)的使用水銀作為測(cè)試探頭的電阻測(cè)試裝置，能方便的使用水銀探頭測(cè)試樣品表面電阻，并能方便快速的注入和收回水銀，該裝置設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，使用方便，測(cè)試效果準(zhǔn)確可重復(fù)，效果良好。使用本發(fā)明的水銀探頭測(cè)試方法及測(cè)試裝置測(cè)試表面易損傷的樣品能有效防止損傷樣品表面和減小過(guò)大的測(cè)試壓力對(duì)待測(cè)樣品尤其是涂層樣品的表面電阻的干擾。

1.一種表面電阻測(cè)試探頭，其特征在于：包括一個(gè)平面等厚的絕緣模塊(2)，所述的絕
緣模塊(2)上設(shè)有四個(gè)等距直線排列、孔徑形狀相同的上下貫通的通孔(3)，四個(gè)所述的通
孔(3)內(nèi)的相同位置各設(shè)有一條與電阻測(cè)試外電路連接的金屬導(dǎo)線(5)，四個(gè)所述的通孔
(3)內(nèi)均注入有等量的水銀(6)形成水銀柱與所述的通孔(3)內(nèi)的所述的金屬導(dǎo)線(5)和所
述的通孔(3)的下方的待測(cè)樣品表面連通；所述水銀柱通過(guò)位于通孔(3)上方的水銀儲(chǔ)存注
入裝置(4)注入和回收；所述水銀存儲(chǔ)注入裝置(4)由可變形頭和注射管組成，水銀存儲(chǔ)注
入裝置上方有一壓板(9)，測(cè)試前，壓板(9)壓下，可變形頭中存儲(chǔ)的水銀注滿通孔形成測(cè)試
水銀柱，測(cè)試完畢，壓板(9)復(fù)位，可變形頭產(chǎn)生吸力，水銀柱被收回。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面電阻測(cè)試探頭，其特征在于：所述的金屬導(dǎo)線(5)伸入到
所述的通孔(3)內(nèi)的部分的長(zhǎng)度形狀完全相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的表面電阻測(cè)試探頭，其特征在于：所述的金屬導(dǎo)線(5)在所
述的絕緣模塊(2)內(nèi)部打孔進(jìn)入所述的通孔(3)，或從所述的通孔(3)的上方進(jìn)入到所述的
通孔(3)內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的表面電阻測(cè)試探頭，其特征在于：所述的絕緣模塊(2)為有
機(jī)玻璃板、陶瓷板或聚苯胺板。
5.具有權(quán)利要求1所述的表面電阻測(cè)試探頭的測(cè)試裝置，其特征在于：包括一個(gè)四端電
阻測(cè)試外電路和一個(gè)四端測(cè)試頭即所述的表面電阻測(cè)試探頭，所述的表面電阻測(cè)試探頭包
括一個(gè)平面等厚的絕緣模塊(2)，所述的絕緣模塊(2)上設(shè)有四個(gè)等距直線排列、孔徑形狀
相同的上下貫通的通孔(3)，四個(gè)所述的通孔(3)內(nèi)的相同位置各設(shè)有一條與所述的四端電
阻測(cè)試外電路連接的金屬導(dǎo)線(5)，通孔(3)上方設(shè)一水銀儲(chǔ)存注入裝置(4)，由可變形頭和
注射管組成，水銀存儲(chǔ)注入裝置上方有一壓板(9)，測(cè)試前，壓板(9)壓下，可變形頭中存儲(chǔ)
的水銀注滿通孔形成測(cè)試水銀柱，與所述的通孔(3)內(nèi)的所述的金屬導(dǎo)線(5)和所述的通孔
(3)的下方的待測(cè)樣品表面連通，形成“四端電阻測(cè)試外電路－金屬導(dǎo)線－水銀柱－待測(cè)樣
品”測(cè)試通路，測(cè)試完畢，壓板(9)復(fù)位，可變形頭產(chǎn)生吸力，水銀柱被收回。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面電阻測(cè)試探頭的測(cè)試裝置，其特征在于：所述的四端電阻
測(cè)試外電路為含兩個(gè)電流端和兩個(gè)電壓端的電阻測(cè)試電路或集成電阻測(cè)試設(shè)備。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面電阻測(cè)試探頭的測(cè)試裝置，其特征在于：所述的四端電阻
測(cè)試外電路的兩個(gè)電流端與四個(gè)所述的通孔(3)的最外兩個(gè)所述的通孔(3)內(nèi)的所述的金
屬導(dǎo)線(5)相連，兩個(gè)電壓端與四個(gè)所述的通孔(3)的中間兩個(gè)所述的通孔(3)內(nèi)的所述的
金屬導(dǎo)線(5)相連。
8.使用權(quán)利要求1所述的表面電阻測(cè)試探頭的表面電阻測(cè)試方法，其特征在于：使用四
個(gè)等距直線排列、形狀高度相同的液態(tài)的水銀柱作為測(cè)試探頭接觸被測(cè)樣品表面并分別與
電阻測(cè)試外電路的電流、電壓四個(gè)端口連接，形成“電阻測(cè)試外電路－水銀柱－待測(cè)樣品表
面”通路，通過(guò)四端測(cè)電阻原理測(cè)量待測(cè)樣品電阻。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的使用表面電阻測(cè)試探頭的表面電阻測(cè)試方法，其特征在于：通
過(guò)移動(dòng)待測(cè)樣品表面的絕緣模塊來(lái)移動(dòng)水銀柱，從而獲得待測(cè)樣品不同區(qū)域的電阻。