本發(fā)明公開一種液靜壓工作裝置，其包括一基座、一載臺、一液靜壓提供器、一測量器及一控制器。載臺設(shè)置于基座。載臺設(shè)有一液靜壓通道，液靜壓通道內(nèi)設(shè)有油液。載臺通過液靜壓通道內(nèi)的油液與基座間具有一間距。液靜壓提供器，供給液靜壓通道的油液并調(diào)整油液供給壓力。測量器設(shè)置于載臺，用以測量載臺與基座間的間距，并輸出一距離信號。控制器連接液靜壓提供器與測量器。控制器根據(jù)距離信號控制液靜壓提供器調(diào)整油液供給壓力。

1.一種液靜壓工作裝置，包括：
基座，該基座包括多個基準面及一對軌道，該些基準面位于該對軌道的
外側(cè)；
載臺，設(shè)置于該基座，該載臺設(shè)有一液靜壓通道，該液靜壓通道內(nèi)設(shè)有
油液，該載臺通過該液靜壓通道內(nèi)的油液與該基座間具有一間距，該載臺設(shè)
置于該基座的該對軌道，且能沿該對軌道移動；
液靜壓提供器，供給該液靜壓通道的油液并調(diào)整油液供給壓力；
測量器，設(shè)置于該載臺，該測量器包括多個測量單元，該些測量單元分
別朝向該些基準面測量，該多個測量單元能夠測量該載臺和該基座之間的間
距和偏移角度，并輸出距離信號和偏移角度信號；以及
控制器，連接該液靜壓提供器與該測量器，該控制器根據(jù)該距離信號和
該偏移角度信號控制該液靜壓提供器調(diào)整油液供給壓力，
其中該些基準面朝向該對軌道，該些測量單元設(shè)置于該載臺的側(cè)面，且
分別背對該對軌道而朝向該些基準面。
2.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，還包含一罩體，設(shè)置于該載
臺且覆蓋該測量器。
3.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該載臺朝向該基座具有
一底部，該測量器設(shè)置于該底部。
4.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該基座還具有一排放通
道，與該間距連通。
5.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該測量器為光線感測器。
6.如權(quán)利要求5所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準面的光線反射
率為百分之七十以上。
7.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準面設(shè)置有多個
刻度。
8.如權(quán)利要求1所述的液靜壓工作裝置，其中該些基準面背對該對軌
道，該載臺朝向該基座具有一底部，該底部具有一凹部，該凹部具有一側(cè)壁，
該些測量單元設(shè)置于該側(cè)壁且分別朝向該對軌道而朝向該些基準面。