本發(fā)明涉及一種用于通過測量頭(110)來檢查基板(190)的表面的測量裝置，該測量頭具有用于檢測表面的傳感器(111)和設(shè)置在傳感器旁側(cè)的氣動件(112)，該氣動件包括入口(115)和至少一個向下取向的出口(114)。此外，測量裝置還具有：面定位系統(tǒng)(220)，其被設(shè)置用來將測量頭(110、210)精確地定位在基板(190)之上的x-y平面內(nèi)；以及壓力空氣生成裝置(250)，其與入口(215)氣動地耦合，從而在用壓力空氣加載氣動件(112、212)時，測量頭(110、210)可以預(yù)設(shè)的高度定位在基板(190)上方并且在氣墊上滑動。此外，本發(fā)明還涉及一種具有多個前述類型的測量裝置的測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)這樣地彼此相對設(shè)置，即各個傳感器形成測量行。

1.一種用于檢查基板(190)的表面的測量裝置，具有：測量頭(110)，所述測量頭具有：傳感器(111)，用于檢測所述表面；在所述傳感器(111)旁側(cè)設(shè)置的氣動件(112)，所述氣動件包括入口(115)和至少一個向下取向的出口(114)；面定位系統(tǒng)(220)，設(shè)置用來將測量頭(110、210)精確地定位在所述基板(190)之上的x-y平面內(nèi)；以及壓力空氣生成裝置(250)，所述壓力空氣生成裝置與入口(115、215)氣動地耦合，從而在用壓力空氣加載氣動件(112、212)時，所述測量頭(110、210)可以預(yù)設(shè)的高度定位在所述基板(190)上方，所述測量裝置附加地具有設(shè)置在所述面定位系統(tǒng)(220)與所述測量頭(110、210)之間的耦合裝置(130、230)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其中，所述耦合裝置(130)這樣地構(gòu)造，即所述測量頭(110)可沿著垂直于x-y平面的z方向在確定的移動范圍內(nèi)自由移動。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量裝置，其中，所述耦合裝置(130)這樣地構(gòu)造，即在確定的角度范圍內(nèi)所述測量頭(110)可圍繞軸線(VP)自由傾斜，所述軸線(VP)平行于x-y平面取向。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測量裝置，其中，所述耦合裝置具有：上耦合件(331)，所述上耦合件與所述氣動件剛性地連接；以及下耦合件(333)，所述下耦合件通過鉸接的懸置裝置與所述上耦合件(331)連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量裝置，其中，所述鉸接的懸置裝置包括至少兩個桿(332a、332b)，所述桿的上端部與所述上耦合件(331)以及所述桿的下端部與所述下耦合件(333)分別在球形件(334)中連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的測量裝置，其中，所述氣動件(112)圍繞所述傳感器(111)設(shè)置。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的測量裝置，其中，所述至少一個向下取向的出口(114)是空氣噴嘴，所述空氣噴嘴被這樣地構(gòu)造，即噴出的空氣的速度達(dá)到接近音速。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的測量裝置，其中，所述傳感器(111)具有光學(xué)的、電容的和/或感應(yīng)式的傳感器件。9.一種用于檢查基板的表面的測量系統(tǒng)，具有：至少兩個根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的測量裝置(100)，所述測量裝置這樣地彼此設(shè)置，即各個傳感器沿著測量行設(shè)置。