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探針電阻的檢測方法

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-06-28
  • 技術成熟度:通過中試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201010198398.6 
  • 技術(專利)名稱 探針電阻的檢測方法 
  • 項目單位 上海華虹宏力半導體制造有限公司
  • 發明人 路向黨 
  • 行業類別
  • 技術成熟度 通過中試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 錢丹萍
  • 發布時間 2021-06-28  
  • 01

    項目簡介

    本發明涉及一種測試用探針電阻的檢測方法。這種探針電阻的檢測方法,所述探針用于測試工具檢測器件的電阻,包括如下步驟:步驟1,將至少三個探針分別兩兩組合與連至所述器件兩端的第一焊墊和第二焊墊接觸;步驟2,獲取各組探針的電阻之和;步驟3,計算出各個探針的電阻;步驟4,將各個探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比較,判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍。本發明的探針電阻的檢測方法,簡便易行。通過本發明探針電阻的檢測方法,可以方便檢測人員檢測測試工具所采用的探針的電阻是否正常,從而可以有效監控測試工具的工作狀態是否正常,進而可以有效保證采用測試工具測量器件所獲得的測試數據的準確性和可靠性。
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  • 02

    說明書

    1.一種探針電阻的檢測方法,所述探針用于測試工具檢測器件的電阻,其特征在于,包括如下步驟:步驟1,將至少三個探針分別兩兩組合與連至所述器件兩端的第一焊墊和第二焊墊接觸;步驟2,獲取各組探針的電阻之和;步驟3,計算出各個探針的電阻;步驟4,將各個探針的電阻分別和探針電阻的允許范圍做比較,判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍。2.如權利要求1所述的探針電阻的檢測方法,其特征在于,所述步驟2中各組探針的電阻之和是通過以下公式獲得的:Rpx-py=2*Rtotal1-Rtotal2,其中,Rpx-py表示測試工具所用的兩個探針的電阻之和,Rtotal1表示測試工具測量電阻為R的器件的測量值,Rtotal2表示測試工具測量電阻為2R的器件的測量值。3.如權利要求2所述的探針電阻的檢測方法,其特征在于,所述公式Rpx-py=2*Rtotal1-Rtotal2是通過以下方式獲得的:Rtotal1=Rpx-py+2*Rm+R;Rtotal2=Rpx-py+2*Rm+2R,其中Rm為各引線的電阻。4.如權利要求1所述的探針電阻的檢測方法,其特征在于,所述探針電阻的允許范圍如下:Rwat-n*Rstd≤Rp≤Rwat+n*Rstd,其中,Rp表示探針電阻,Rwat表示使用自動測試機臺所測得的探針電阻的平均值,Rstd表示使用自動測試機臺所測得的探針電阻的標準偏差,n是一個正整數,n的取值為1、2或者3。5.如權利要求1所述的探針電阻的檢測方法,其特征在于,所述判斷探針的電阻是否屬于探針電阻的允許范圍的判斷方法如下:如果探針的電阻屬于探針電阻的允許范圍,則該探針的電阻符合要求,如果探針的電阻不屬于探針電阻的允許范圍,則該探針的電阻不符合要求。
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